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半导体压力传感器的膜片设计分析
更新时间：2025-09-11

    • 半导体压力传感器的膜片设计分析

    • 暂无标题

    • 传感器与微系统   1988年第5期 页码：15-19

    • DOI：10.13873/j.1000-97871988.05.004    

      中图分类号：

    • 纸质出版：1988

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  • 半导体压力传感器的膜片设计分析[J]. 传感器与微系统, 1988,(5):15-19. DOI： 10.13873/j.1000-97871988.05.004.

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