随着集成电路微细加工技术的迅速发展

微细机械加工技术越来越受到人们的关注。由于硅作为一种机械材料有着许多独特的优点

再加上它在电子器件领域中的主力军地位

所以对硅的微细机械加工技术的探索尤为引人注目。本文主要介绍硅器件中常用的体型和面型微细机械加工技术。