半导体薄膜型NO<sub>x</sub>气敏元件及应用装置

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半导体薄膜型NO_x气敏元件及应用装置

更新时间：2025-09-11

- 半导体薄膜型NO_x气敏元件及应用装置
- 暂无标题
- 传感器与微系统 1988年第3期页码：31-34
- 作者机构：
  
  杭州电子工业学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97871988.03.009
  中图分类号：
- 纸质出版：1988
- 稿件说明：
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金庚墀. 半导体薄膜型NO_x气敏元件及应用装置[J]. 传感器与微系统, 1988,(3):31-34.
金庚墀. 半导体薄膜型NO_x气敏元件及应用装置[J]. 传感器与微系统, 1988,(3):31-34. DOI： 10.13873/j.1000-97871988.03.009.

DOI：

摘要

本文讨论了半导体薄膜型气敏元件的导电机理

介绍了为探测NOx（NO

2

、NO）有害气体而研制的SnO

2

薄膜型气敏元件的结构、气敏特性及应用气敏元件制成的报警、测量两用仪的原理和结构。

Abstract

关键词

Keywords

references

徐同举编著.新型传感器基础[M].机械工业出版社,1987.

[美]沃布沙尔(Wobschall,D·) 著,言华译.电子仪器的电路设计[M].科学出版社,1986.

莫以豪编著.半导体陶瓷及其敏感元件[M].上海科学技术出版社,1983.

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