本文根据对铜膜温度传感器的研制

阐述了基片(微晶玻璃基片、硅玻璃基片、陶瓷基片);真空蒸发工艺条件(烘烤电流及其温度、真空度

蒸发电流及其时间);热处理条件(温度、时间)等对铜膜电性能的影响

介绍了高精度铜膜温度传感器的最佳工艺条件。