本文主要研究不同淀积角度对一氧化硅薄膜感湿特性的影响

目的在于探索用倾斜蒸发工艺制备感湿膜的可能性

实验结果表明:随着蒸发一氧化硅入角度的增大

特别是大于45°时

元件吸湿性显著增大。因此

可以考虑用倾斜蒸发的方法制造一氧化硅薄膜湿度传感器。