黑龙江大学敏感技术研究所
纸质出版:1988
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温殿忠. 微压传感器研制中的几个技术问题[J]. 传感器与微系统, 1988,(1):35-38.
温殿忠. 微压传感器研制中的几个技术问题[J]. 传感器与微系统, 1988,(1):35-38. DOI: 10.13873/j.1000-97871988.01.007.
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本文给出了采用硅各向异性腐蚀的阳极氧化自动终止技术研制微压方膜、圆膜硅杯的技术方案
讨论了器件表面SiO
2
与Al膜厚对微压传感器零位温漂的影响规律及其应采取的工艺措施。
牛德芳 编著.力学量敏感器件及其应用[M].科学出版社,1987.
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