纸质出版:1987
移动端阅览
微粒子多功能(温、气、湿)敏感元件的研制[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):82-83.
微粒子多功能(温、气、湿)敏感元件的研制[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):82-83. DOI: 10.13873/j.1000-97871987.z1.165.
DOI:
本文介绍一种温、湿、气微粒子多功能敏感元件初步研制的一些结果和主要结构特点
该元件使用硅平面工艺
在n型外延片上扩散出p-n结二极管和电阻
利用p-n结正向压降随温度升高而下降的特性测量环境温度
同
0
浏览量
下载量
CSCD
关联资源
相关文章
相关作者
相关机构