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集成多晶硅悬臂梁振动传感器的设计
更新时间：2025-09-11

    • 集成多晶硅悬臂梁振动传感器的设计

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    • 传感器与微系统   1987年第Z1期 页码：79

    • DOI：10.13873/j.1000-97871987.z1.156    

      中图分类号：

    • 纸质出版：1987

    移动端阅览

  • 朱秀文. 集成多晶硅悬臂梁振动传感器的设计[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):79. DOI： 10.13873/j.1000-97871987.z1.156.

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