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硅压力传感器的应力隔离封装
更新时间：2025-09-11

    • 硅压力传感器的应力隔离封装

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    • 传感器与微系统   1987年第Z1期 页码：78-79

    • DOI：10.13873/j.1000-97871987.z1.155    

      中图分类号：

    • 纸质出版：1987

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  • 硅压力传感器的应力隔离封装[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):78-79. DOI： 10.13873/j.1000-97871987.z1.155.

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