纸质出版:1987
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王冬梅. 硅压阻式力敏器件及传感器的稳定性[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):78.
王冬梅. 硅压阻式力敏器件及传感器的稳定性[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):78. DOI: 10.13873/j.1000-97871987.z1.154.
DOI:
国外一些工业发达国家的半导体压力传感器已达到产业化、商品化的程度。我国从研制生产到使用仍处于小批量试制阶段
除了其它原因之外
传感器的稳定性方面的指标令人不够满意也是很重要的一个因素。 压力传感器的硅杯芯片是通过双面硅片加工工艺制成。正面用半导体平面工艺加工力敏
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