纸质出版:1987
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压阻式高压力传感器设计与研制[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):78.
压阻式高压力传感器设计与研制[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):78. DOI: 10.13873/j.1000-97871987.z1.153.
DOI:
硅单晶的压阻效应及有关的工艺技术应用于压力传感器的制造
使压阻式压力传感器以其精度高、动态特性好、灵敏度高、可靠性好、尺寸小、价格低等一系列优点、逐步占据了中、低量程压力测量传感器市场的支配地位。然而
由于设计与制作上的某些原因
高压和超高压领域仍然是应变式和压电式传感器的天下。本
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