沈桂芬. 微压传感器膜片的设计与关键工艺[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):77-78.

沈桂芬. 微压传感器膜片的设计与关键工艺[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):77-78. DOI： 10.13873/j.1000-97871987.z1.152.

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