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多晶硅薄膜压阻器件
更新时间：2025-09-11

    • 多晶硅薄膜压阻器件

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    • 传感器与微系统   1987年第Z1期 页码：75-76

    • DOI：10.13873/j.1000-97871987.z1.149    

      中图分类号：

    • 纸质出版：1987

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  • 多晶硅薄膜压阻器件[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):75-76. DOI： 10.13873/j.1000-97871987.z1.149.

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