纸质出版:1987
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非晶-微晶混合相硅应变计传感器材料的研制[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):74-75.
非晶-微晶混合相硅应变计传感器材料的研制[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):74-75. DOI: 10.13873/j.1000-97871987.z1.148.
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目前生产中广泛使用的应变计传感器(应变片)有金属应变计和单晶半导体应变计。金属应变计的温度特性、线性都较好
但灵敏系数K小
通常K=2~4
利用半导体压阻效应的半导体应变计虽然灵敏系数较大
很容易得到K=50~150。但其温度特性和线性都较差
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