纸质出版:1987
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薄膜铜电阻温度传感器[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):62-63.
薄膜铜电阻温度传感器[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):62-63. DOI: 10.13873/j.1000-97871987.z1.124.
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本文研制的薄膜铜电阻温度传感器具有如下性能:测温范围:-50~+150℃
最大非线性度
<
0.5%
电阻温度系数4150±20ppm℃
-1
响应时间
0.5s。 制备薄膜铜电阻温度传感器的工艺流程如下:抛光硅片(p型或n型)清洗→热氧化→
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