纸质出版:1987
移动端阅览
锰镍钴氧化物薄膜型热敏电阻红外探测器[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):62.
锰镍钴氧化物薄膜型热敏电阻红外探测器[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):62. DOI: 10.13873/j.1000-97871987.z1.123.
DOI:
航天部502所在研制薄膜型锰、镍、钴氧化热敏电阻器的基础上
为改善其畸变特性
于八十年代起研制上列三元素氧化物薄膜型热敏电阻器。结果表明在性能参数上优于薄片型的
在工艺方面采用反应离子镀膜方法
所需主要设备仅为一般的真空镀膜机(例如DM-450)、高频发生器、压强控制仪等。三元系材料置入夹
0
浏览量
下载量
CSCD
关联资源
相关文章
相关作者
相关机构