纸质出版:1987
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MOS型CO气体传感器[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):55.
MOS型CO气体传感器[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):55. DOI: 10.13873/j.1000-97871987.z1.110.
DOI:
SnO
3
栅MOS气体传感器是一种新型的MOS传感器
以金属氧化物SnO
2
作为MOS晶体管的栅材料
当SnO
层的厚度小于德拜长度时
吸附CO分子后与栅材料表面进行氧原子交换
致使栅材料中的电子浓度发生变化
由
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