Fe<sub>2</sub>O<sub>3</sub>气敏器件制作工艺的研究

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Fe₂O₃气敏器件制作工艺的研究

更新时间：2025-09-11

- Fe₂O₃气敏器件制作工艺的研究
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- 传感器与微系统 1987年第Z1期页码：53-54
- 作者机构：
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- DOI：10.13873/j.1000-97871987.z1.107
  中图分类号：
- 纸质出版：1987
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Fe₂O₃气敏器件制作工艺的研究[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):53-54.
Fe₂O₃气敏器件制作工艺的研究[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):53-54. DOI： 10.13873/j.1000-97871987.z1.107.

DOI：

摘要

在制作Fe

2

O

3

气敏器件过程中

通常采用压制成形工艺和AU或Pt等贵重金属作电极。为简化工艺和降低成本

我们采用注塑成形工艺和Ni作电极

即用水把Fe

2

O

3

粉末拌成泥桨、注入细瓷管内

两端插入Ni丝作为电极

烘干和烧结后

靠材料收缩使器件自动与瓷管脱离。

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