纸质出版:1987
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二氧化钛氧传感器的研究[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):51-52.
二氧化钛氧传感器的研究[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):51-52. DOI: 10.13873/j.1000-97871987.z1.102.
DOI:
二氧化钛氧传感器探头是在95%氧化铝瓷基片上首先制作叉指形铂电极
然后在上面沉积上一层多孔的二氧化钛多晶半导体层
并在半导体层中渗入各种敏化剂而制成。研究了各种沉积方法对结构与性能的影响。在半导体气体传感器中晶粒和孔度大小是二个至关重要的结构因素
它对工作温度、反应时间、机械强
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