纸质出版:1987
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SnO2薄膜气敏元件[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):49.
SnO2薄膜气敏元件[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):49. DOI: 10.13873/j.1000-97871987.z1.096.
DOI:
我们利用自制的S枪溅射系统
在微晶玻璃衬底上运用磁控反应溅射技术制备掺Pd的SnO
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薄膜。S枪是一种高速低温的磁控溅射源
又称锥形环状磁控溅射源。它具有体积小、靶形小、换靶易、靶材料利用率高、功率密度大、溅射速率高等特点。而且金属、高熔点材料、合金、陶瓷等均可作为镀膜材料。在反应气氛
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