纸质出版:1987
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化学生物敏感器件用SOS材料[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):11-12.
化学生物敏感器件用SOS材料[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):11-12. DOI: 10.13873/j.1000-97871987.z1.018.
DOI:
在蓝宝石(α-Al
2
O
3
)衬底上异质外延生长硅单晶膜(简称SOS)
在集成电路上有着重要的应用。然而
这种SOS材料在敏感器件方面也有着广泛的应用。苏、美相继于七十年代末研制出蓝宝石晶体压力传感器
并有商品
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