纸质出版:1987
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微细加工在传感器制造中的应用[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):9.
微细加工在传感器制造中的应用[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):9. DOI: 10.13873/j.1000-97871987.z1.014.
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本文主要介绍微细加工技术的内容、特点
在传感器制造中应用的可能性及发展前景。现代传感器的发展趋势
主要是高灵敏、高可靠、微型化、集成化以及智能化。为此在
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