中科院半导体所
纸质出版:1987
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王守觉. 新型半导体传感器和材料的发展趋势[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):2-3.
王守觉. 新型半导体传感器和材料的发展趋势[J]. 传感器与微系统, 1987,(Z1):2-3. DOI: 10.13873/j.1000-97871987.z1.002.
DOI:
在众多的材料中
半导体材料对制作各种传感器有着天然的优越性
因它对光、热、压力、磁场、辐照、湿度、气体、离子等都很敏感
并能以电信号的形式输出。在各种技术中
半导体工艺技术在制作传感器上又有独到之处。目前
传感器正向着微型化、集成化、
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