哈尔滨通江晶体管厂
纸质出版:1987
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张艳芝. 厚膜法制备气敏器件加热器的研究[J]. 传感器与微系统, 1987,(4):25.
张艳芝. 厚膜法制备气敏器件加热器的研究[J]. 传感器与微系统, 1987,(4):25. DOI: 10.13873/j.1000-97871987.04.006.
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木文介绍的是用厚膜法制备气敏器件加热器的方法及初步探索。目的是为研制各种厚膜型器件及多功能器件提供必需的加热衬底。我们以95%Al
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陶瓷做基片。在其一侧采用印刷技术先后制做电极、加热器及绝缘保护层;在另一侧
同样采用印刷技术先后制作电极及敏感材料。从以SnO
为主体的敏感材料的试验结果来看
用厚膜法制备的气敏器件的加热衬底
完全可以满足加热要求;并可做为制做其它敏感器件加热衬底的方法。
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