纸质出版:1987
移动端阅览
Si—MOS湿度传感器在微电子工业和制茶工业在线检测中的应用[J]. 传感器与微系统, 1987,(3):49-52.
Si—MOS湿度传感器在微电子工业和制茶工业在线检测中的应用[J]. 传感器与微系统, 1987,(3):49-52. DOI: 10.13873/j.1000-97871987.03.013.
DOI:
一、Si—MOS湿度传感器及其二次仪表 Si—MOS湿度传感器系上海市“六五”攻关项目
由中科院上海冶金所研制成功。该传感器在本质上是一个以低阻单晶硅衬底和多孔Au膜为上、下电极
以多孔Al
2
O
3
为湿敏介质的MOS电容结构
0
浏览量
下载量
CSCD
关联资源
相关文章
相关作者
相关机构