超大规模集成电路技术在传感制造中的应用

产生了高度密集的传感器阵列。这样的阵列可以用来获得被测量的一维或两维的信息。然而其设计有一系列的特殊问题

包括适当的集成水平

传感器的线性和均匀性等。木文将介绍目前最新发展起来的几种集成传感器的阵列的制造技术

工作原理

性能特征及读出电路的设计等。这些阵列主要有电容式和压阻式触觉传感器阵列

硅热电堆红外敏感阵列

集成P—n结温度计阵列

集成多通道记录阵列等。在此基础上总结集成传感器阵列设计中的若干问题。