纸质出版:1986
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SOS材料及其在传感技术中的应用[J]. 传感器与微系统, 1986,(4):48-51.
SOS材料及其在传感技术中的应用[J]. 传感器与微系统, 1986,(4):48-51. DOI: 10.13873/j.1000-97871986.04.009.
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本文叙述了SOS材料制备工艺及其主要性能的检测
并用它研制成CLGY—1型硅—兰宝石固态压力传感器。
蔡希介,陈庆贵,史日华,王其闵.透射干涉法测量蓝宝石上薄外延硅层的厚度[J].应用科学学报,1984(02).
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