硅材料可分为单晶硅、多品硅和非晶硅。从结构上来说

单晶硅最简单

非晶硅最复杂。用这三种材料都可以制造压力传感器。这些压力传感器大致可以分成四种形式

即压阻式、电容式、MOS式和薄膜式。前三种主要以单晶硅制造

后一种主要以多晶硅和非晶硅制造。目前制造压力传感器仍以单晶硅为主

但从发展趋势来看似有向多品与非晶的薄膜式方向进展的势头。