硅是一种非常有前途的传感器建筑材料。因为敏感元件和信号处理电路可以集成在同一硅片上

构成所谓“智能传感器”(Smart Sensors)

本文将概述在五种非电信号领域中硅的各种物理转换效应

并分类描述目前集成传感器的发展状况

论述单片信号处理电路的功能

展望智能传感器的发展前景。