本文根据现有国内外期刊资料

综合薄膜温度传感器的研制生产状态和发展动向

认为按其固有特点、优势

它有较强的竞争力。从它的结构和工艺来看

有如下特点:热响应速度快

电阻阻值范围宽

选材广泛

机械性好

精度高

体积小

重量轻

成本低。可平面化

集成化。该文介绍了国内外巳研制或生产的几种薄膜温度传感器:SiC

SnSe、MnCo、V

3

O

5

、Ti、Ni、Gc、Pt等

并介绍它们的工艺、结构、特点和应用。这里着重指出Pt薄膜具有线性的电阻温度关系

适合二次仪表配套

并举出它在表面测温、瞬时测温、真空内测温和一般情况下的应用。该文认为开发薄膜技术、研制和生产各类薄膜传感器

满足四化需要

意义深远

前程广阔。