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硅压力传感器的静电封接技术
更新时间：2025-09-11

    • 硅压力传感器的静电封接技术

    • 暂无标题

    • 传感器与微系统   1985年第1期 页码：15-19

    • DOI：10.13873/j.1000-97871985.01.002    

      中图分类号：

    • 纸质出版：1985

    移动端阅览

  • 陈东河. 硅压力传感器的静电封接技术[J]. 传感器与微系统, 1985,(1):15-19. DOI： 10.13873/j.1000-97871985.01.002.

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