本发明系一种生产微型压力传感器的工艺。利用该工艺生产的传感器的主要特点是在使用中耐高温。这种传感器的敏感膜片具有一定的形状

以便能集中和限制敏感区内产生的应力

并将这一应力引向传感器内检测压差的敏感元件。