一种测量位移、位置加速度的新型磁声传感器

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一种测量位移、位置加速度的新型磁声传感器

更新时间：2025-09-11

- 一种测量位移、位置加速度的新型磁声传感器
- 一种测量位移、位置加速度的新型磁声传感器
- 传感器与微系统 1984年第2期页码：54-55
- 作者机构：
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- DOI：10.13873/j.1000-97871984.02.011
  中图分类号：
- 纸质出版：1984
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[1]孙毓敏.一种测量位移、位置加速度的新型磁声传感器[J].传感器技术,1984(02):54-55.

一种测量位移、位置加速度的新型磁声传感器[J]. 1984, (2): 54-55.
[1]孙毓敏.一种测量位移、位置加速度的新型磁声传感器[J].传感器技术,1984(02):54-55. DOI： 10.13873/j.1000-97871984.02.011.

一种测量位移、位置加速度的新型磁声传感器[J]. 1984, (2): 54-55. DOI： 10.13873/j.1000-97871984.02.011.

摘要

<正>20由于传感器是测试系统的基本环节

它直接影响到各类测量仪器的发展

因此

国外对传感器的研制发展很快。人们不但从传感器的工艺上加以完善提高

而且从性能、体积、功能、成本上取得可喜成果。特别是集成电路工艺的发展

使传感器在物理结构上能把敏感元件与后随测

Abstract

<正> 由于传感器是测试系统的基本环节

它直接影响到各类测量仪器的发展

因此

国外对传感器的研制发展很快。人们不但从传感器的工艺上加以完善提高

而且从性能、体积、功能、成本上取得可喜成果。特别是集成电路工艺的发展

使传感器在物理结构上能把敏感元件与后随测

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