纸质出版:1984
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文摘[J]. 传感器与微系统, 1984,(1):60-61+64.
文摘[J]. 传感器与微系统, 1984,(1):60-61+64. DOI: 10.13873/j.1000-97871984.01.011.
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本文叙述了一组小型压力传感器。这种小型压力传感器使用二氧化硅为衬底的硅应变片。硅应变片使用高掺杂
所以传感器的性能优良
工作温度为300℃。该传感器的性能可与相同尺寸的扩散型传感器相比。在封装过程中
用聚四氟乙烯导线和有机树脂可保证温度极限达300℃。
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