本文研究了沿{110}硅平面扩散的 P—型扩散层压阻效应的非线性。导出了包括较高级应力项并能定量处理压阻效应的表达式。发现第三级应力项足以给出说明该效应的良好近似值。使用具有10

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～10

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表面浓度扩散层的悬臂梁

用实验的方法确定出表达式系数。在张力和压缩力的情况下

悬臂梁纵轴与电流方向垂直时的非线性大于其与电流方向平行时的非线性。使用这一新的表达式

证实了试验用硅压阻式压力传感器样品非线性的数字分析结果与实验结果相一致。