天津大学自动化系
纸质出版:1983
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王化祥. 关于电容传感器二室结构分析[J]. 传感器与微系统, 1983,(Z1):52-55.
王化祥. 关于电容传感器二室结构分析[J]. 传感器与微系统, 1983,(Z1):52-55. DOI: 10.13873/j.1000-97871983.z1.007.
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图1为二室结构的电容传感器。两侧是固定电容
中间的动膜片电极既是一次变换元件又是二次变换元件。所以该结构简单、对称性好
已被广泛采用。
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