电子工业部第49所
纸质出版:1983
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徐泽善. 半导体压阻式力传感器的零位温度补偿对灵敏度的影响[J]. 传感器与微系统, 1983,(Z1):50-51+37.
徐泽善. 半导体压阻式力传感器的零位温度补偿对灵敏度的影响[J]. 传感器与微系统, 1983,(Z1):50-51+37. DOI: 10.13873/j.1000-97871983.z1.006.
DOI:
由于半导体压阻式力传感器具有其它类型的力传感器所不具备的优点
所以已广泛地应用于国民经济的许多部门。但是由于半导体材料固有缺点
使由这种材料制成的力传感器的温度特性变差。在这种情况下
人们研究出许多温度补偿的办法
使传感器的温度特性得以改善。
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