航空工业部第五七三厂
纸质出版:1983
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孙毓. 压力传感器新工艺及其动向[J]. 传感器与微系统, 1983,(4):44-48.
孙毓. 压力传感器新工艺及其动向[J]. 传感器与微系统, 1983,(4):44-48. DOI: 10.13873/j.1000-97871983.04.005.
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一、前言 硅压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应制成的一种新型压力传感器。这种压阻效应早在三四十年代已被发现
但由于涉及到各种技术问题
特别是半导体工艺和集成电路工艺问题所以一直得不到发展
到了航空测试设备发展受到传感器影响时
这一问题又引起国际航空界人士的重视。此后
人们对半导体锗和硅的
庄梓新.从“TRANSDUCER TEMPCON 82”看微处理机技术对测试技术发展的影响[J].航空测试技术,1982(04).
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