一 前言 半导导体场效应化学传感器CSSD(Chemical Schsitive Semiconductor Device)是七十年代初期发展起来的一类新型半导体传感器。随着集成电路技术和离子交换技术的进展

在生物医学工程、自动控制技术的刺激下

这类传感器的研究日益受到重视。