纸质出版:1982
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半导体压力传感器[J]. 传感器与微系统, 1982,(3):48-51.
半导体压力传感器[J]. 传感器与微系统, 1982,(3):48-51. DOI: 10.13873/j.1000-97871982.03.008.
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1.序言 最近
以半导体传感器为中心的新型传感器的大量研制
以及这些新型传感器的应用
使精度更高、稳定性好的工业用测量仪器已商品化。作为这些测量仪器之一而广泛应用于测量流量、压力、液面、比重等方面的电子式差压变送器和电子式压力传送器(以下把两者总称为传感器)
也都使用了新型传感器。 1963年日立制作所将金属应变计作为
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