陶瓷电容式力敏元件的可靠性设计与工艺

汤建华; 花银群; 杨继昌

doi:10.13873/j.1000-9787(2019)07-0073-03

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陶瓷电容式力敏元件的可靠性设计与工艺

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 陶瓷电容式力敏元件的可靠性设计与工艺
- Reliability design and process of ceramic capacitive force sensitive element
- 传感器与微系统 2019年第7期页码：73-75
- 作者机构：
  
  1. 江苏大学机械工程学院
  2. 常州纺织服装职业技术学院机电学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-9787(2019)07-0073-03
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2019
- 稿件说明：
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汤建华, 花银群, 杨继昌. 陶瓷电容式力敏元件的可靠性设计与工艺[J]. 传感器与微系统, 2019,(7):73-75.

TANG Jianhua, HUA Yinqun, YANG Jichang. Reliability design and process of ceramic capacitive force sensitive element[J]. 2019, (7): 73-75.
汤建华, 花银群, 杨继昌. 陶瓷电容式力敏元件的可靠性设计与工艺[J]. 传感器与微系统, 2019,(7):73-75. DOI： 10.13873/j.1000-9787(2019)07-0073-03.

TANG Jianhua, HUA Yinqun, YANG Jichang. Reliability design and process of ceramic capacitive force sensitive element[J]. 2019, (7): 73-75. DOI： 10.13873/j.1000-9787(2019)07-0073-03.

摘要

相对于电阻应变式测力传感器

国内电容式力传感器的可靠性与制造工艺还有许多方面需要改进和提高。主要介绍了陶瓷电容式力传感器中一种力敏元件在产品化过程中涉及的结构设计、关键材料选择以及生产制作工艺等方面的要求。实践表明:该陶瓷电容力敏元件的性能和可靠性都达到了大批量生产的要求

为进一步研制更多厚膜电容式测力传感器创造了基础和条件。

Abstract

Compared with the resistance strain gauge force transducer

there are still many fields need to be improved in reliability and fabrication process of domestic capacitive force transducer. Requirements of structure design

critical material selection and production process of a force sensitive element in ceramic capacitive force transducer during productization are mainly introduced. The pilot running result shows that the performance and reliability of the ceramic capacitive force sensitive element meet the requirement of mass production

which creates basis and condition for developing more thick-film-based capacitive force transducers in the future.

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