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硅电容式高精度双轴倾角传感器温度漂移补偿研究
研究与探讨 | 更新时间:2025-09-11
    • 硅电容式高精度双轴倾角传感器温度漂移补偿研究

    • Research on temperature drift compensation of silicon capacitive high precision biax tilt angle sensor

    • 传感器与微系统   2019年第7期 页码:43-45
    • DOI:10.13873/j.1000-9787(2019)07-0043-03    

      中图分类号: TP212
    • 纸质出版:2019

    移动端阅览

  • 龚中良, 刘寒霜. 硅电容式高精度双轴倾角传感器温度漂移补偿研究[J]. 传感器与微系统, 2019,(7):43-45. DOI: 10.13873/j.1000-9787(2019)07-0043-03.

    GONG Zhongliang, LIU Hanshuang. Research on temperature drift compensation of silicon capacitive high precision biax tilt angle sensor[J]. 2019, (7): 43-45. DOI: 10.13873/j.1000-9787(2019)07-0043-03.

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