新型电热式MEMS光开关设计与仿真分析

Chinese

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

新型电热式MEMS光开关设计与仿真分析

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 新型电热式MEMS光开关设计与仿真分析
- Design and simulation analysis of a novel electrothermic type MEMS optical switch
- 传感器与微系统 2018年第10期页码：79-81
- 作者机构：
  
  贵州大学大数据与信息工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-9787(2018)10-0079-03
  中图分类号： TM564
- 纸质出版：2018
- 稿件说明：
移动端阅览
肖杰, 陆安江, 黄子吉. 新型电热式MEMS光开关设计与仿真分析[J]. 传感器与微系统, 2018,(10):79-81.

XIAO Jie, LU An-jiang, HUANG Zi-ji. Design and simulation analysis of a novel electrothermic type MEMS optical switch[J]. 2018, (10): 79-81.
肖杰, 陆安江, 黄子吉. 新型电热式MEMS光开关设计与仿真分析[J]. 传感器与微系统, 2018,(10):79-81. DOI： 10.13873/j.1000-9787(2018)10-0079-03.

XIAO Jie, LU An-jiang, HUANG Zi-ji. Design and simulation analysis of a novel electrothermic type MEMS optical switch[J]. 2018, (10): 79-81. DOI： 10.13873/j.1000-9787(2018)10-0079-03.

在综合比较各类光开关基础上

提出一种新的M型电热式微机电系统(MEMS)光开关结构

并对结构的可行性进行理论分析和多物理场仿真

通过对光开关驱动部分的驱动位移、温度分布、应力应变实验数据的分析

确定了光开关结构的可行性。

On the basis of comprehensive comparison of all kinds of optical switch

put forward a kind of M type electrothermic type micro-electro-mechanical system（ MEMS） optical switch structure

and theoretical analysis on feasibility of structure and simulation on multi physical field

through analyzing on drive part displacement

temperature distribution

stress and strain experimental data of optical switch

determine the feasibility of optical switch structure.

浏览量

347

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

基于MEMS的微热板结构仿真优化研究

电容式微机械超声换能器的发射性能研究

应用于激光雷达的二维静电微镜设计

基于MEMS的便携式消防员室内定位研究

硅基MEMS振速型矢量水听器设计