微机械压力传感器残余应力研究进展与分析

刘沙皓伦; 邢维巍; 李昊霖; 邹梦启

doi:10.13873/j.1000-9787(2018)10-0001-04

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微机械压力传感器残余应力研究进展与分析

综述与评论 | 更新时间：2025-09-11

- 微机械压力传感器残余应力研究进展与分析
- Research progress and analysis on residual stress in micromechanical pressure sensor
- 传感器与微系统 2018年第10期页码：1-4+11
- 作者机构：
  
  北京航空航天大学仪器科学与光电工学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-9787(2018)10-0001-04
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2018
- 稿件说明：
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刘沙皓伦, 邢维巍, 李昊霖, 等. 微机械压力传感器残余应力研究进展与分析[J]. 传感器与微系统, 2018,(10):1-4+11.

LIU Sha-hao-lun, XING Wei-wei, LI Hao-lin, et al. Research progress and analysis on residual stress in micromechanical pressure sensor[J]. 2018, (10): 1-4+11.
刘沙皓伦, 邢维巍, 李昊霖, 等. 微机械压力传感器残余应力研究进展与分析[J]. 传感器与微系统, 2018,(10):1-4+11. DOI： 10.13873/j.1000-9787(2018)10-0001-04.

LIU Sha-hao-lun, XING Wei-wei, LI Hao-lin, et al. Research progress and analysis on residual stress in micromechanical pressure sensor[J]. 2018, (10): 1-4+11. DOI： 10.13873/j.1000-9787(2018)10-0001-04.

摘要

对微机械压力传感器中的残余应力研究进展进行了综述。概述和总结了国内外微机械压力传感器的研究进展和存在问题

分析了残余应力对传感器的零点失调、零点温度系数、输出非线性和输出频率等方面的影响

总结了材料属性、加工温度等因素对残余应力的影响

展望了残余应力测量的发展和趋势。指出可以通过结构设计的优化等方式控制或利用残余应力

达到提高稳定性的目的。

Abstract

Research progress on residual stress in micromechanical pressure sensor is reviewed. Research progress and existing deficiencies of micromechanical pressure sensor at home and abroad are summarized. The influences of residual stress on sensors in aspect of zero offset

zero temperature coefficient

output nonlinear and output frequency are analyzed. Influence of material properties

processing temperature on residual stress is summarized.Development and trend of residual stress measurement are prospected. It is pointed out that residual stress can be controlled or utilized through optimizing structure design in order to improve stability.

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