基于MEMS工艺的NO<sub>2</sub>气体传感器研制

王成杨; 李玉玲; 丁文波; 金建东; 王冲

doi:10.13873/j.1000-9787(2018)07-0081-03

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基于MEMS工艺的NO₂气体传感器研制

设计与制作 | 更新时间：2025-09-11

- 基于MEMS工艺的NO₂气体传感器研制
- Research and fabrication of NO₂ gas sensor based on MEMS technology
- 传感器与微系统 2018年第7期页码：81-83
- 作者机构：
  
  1. 中国电子科技集团公司第四十九研究所
  2. 吉林大学电子科学与工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家高技术研究发展计划“863”计划资助项目(2014AA06A505)
- DOI：10.13873/j.1000-9787(2018)07-0081-03
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2018
- 稿件说明：
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王成杨, 李玉玲, 丁文波, 等. 基于MEMS工艺的NO₂气体传感器研制[J]. 传感器与微系统, 2018,(7):81-83.

WANG Cheng-yang, LI Yu-ling, DING Wen-bo, et al. Research and fabrication of NO₂ gas sensor based on MEMS technology[J]. 2018, (7): 81-83.
王成杨, 李玉玲, 丁文波, 等. 基于MEMS工艺的NO₂气体传感器研制[J]. 传感器与微系统, 2018,(7):81-83. DOI： 10.13873/j.1000-9787(2018)07-0081-03.

WANG Cheng-yang, LI Yu-ling, DING Wen-bo, et al. Research and fabrication of NO₂ gas sensor based on MEMS technology[J]. 2018, (7): 81-83. DOI： 10.13873/j.1000-9787(2018)07-0081-03.

摘要

设计了一种基于微机电系统（MEMS）工艺的以氧化钨（WO3）为敏感材料的微结构气体传感器

并从半导体理论解释了WO3对二氧化氮（NO

）的敏感机理。气体传感器芯片尺寸为1.3 mm×1.3 mm

微热板的有效面积为0.4 mm×0.4 mm。实验结果表明:设计的气体传感器对NO

气体表现出良好的响应

在最佳工作温度下（140℃）功耗为23 m W

最低检测限达50×10-9

响应时间为60 s

恢复时间为180 s。

Abstract

A gas sensor based on micro-electro-mechanical system（ MEMS） technology using WO

as sensitive material is designed and fabricated. The sensitive mechanism is explained from the semiconductor theory. The effective area with dimensions of 0. 4 mm × 0. 4 mm is located at the center of a sensor（ 1. 3 mm × 1. 3 mm）. The experimental results show that the gas sensor exhibits good response to NO

power consumption is about 23 m W at the optimal working temperature of 140 ℃

the lowest detection limit is about 50 × 10-9

the response and recovery time is only 60 s and 180 s

respectively.

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基于MEMS工艺的NO2气体传感器研制

Research and fabrication of NO2 gas sensor based on MEMS technology

DOI：10.13873/j.1000-9787(2018)07-0081-03

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基于MEMS工艺的NO₂气体传感器研制

Research and fabrication of NO₂ gas sensor based on MEMS technology