一种压阻式微压传感器芯片设计与实现

吴佐飞; 尹延昭; 田雷; 王永刚

doi:10.13873/j.1000-9787(2018)06-0073-02

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一种压阻式微压传感器芯片设计与实现

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 一种压阻式微压传感器芯片设计与实现
- Design and implementation of a piezoresistive micro pressure sensor chip
- 传感器与微系统 2018年第6期页码：73-74+78
- 作者机构：
  
  中国电子科技集团公司第四十九研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-9787(2018)06-0073-02
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2018
- 稿件说明：
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吴佐飞, 尹延昭, 田雷, 等. 一种压阻式微压传感器芯片设计与实现[J]. 传感器与微系统, 2018,(6):73-74+78.

WU Zuo-fei, YIN Yan-zhao, TIAN Lei, et al. Design and implementation of a piezoresistive micro pressure sensor chip[J]. 2018, (6): 73-74+78.
吴佐飞, 尹延昭, 田雷, 等. 一种压阻式微压传感器芯片设计与实现[J]. 传感器与微系统, 2018,(6):73-74+78. DOI： 10.13873/j.1000-9787(2018)06-0073-02.

WU Zuo-fei, YIN Yan-zhao, TIAN Lei, et al. Design and implementation of a piezoresistive micro pressure sensor chip[J]. 2018, (6): 73-74+78. DOI： 10.13873/j.1000-9787(2018)06-0073-02.

摘要

基于压阻效应和惠斯通电桥原理

设计了一种压阻式微压传感器;为了增大灵敏度

设计了一种折弯形的压敏电阻。从微压芯片敏感薄膜的设计、敏感电阻条的确定以及敏感电阻器位置的选取等方面考虑

设计了具有应力匀散效应的梁-膜结构并进行了工艺验证。验证结果表明:所设计的微压芯片灵敏度达到了24 mV/kPa

非线性优于0.2%FS。

Abstract

A piezoresistive micro pressure sensor is designed

based on piezoresistive effect and Wheatstone Bridge Principle. Snake shape pressure sensitive resistor is designed to increase sensitivity. A design scheme is proposed

which considers sensitive thin-film design of micro pressure chip

confirmation of sensitive resistor strip and position selection of sensitive resistor

and process certification is carried out. The verification result shows that the sensitivity of the designed micro micro pressure chip can reach 24 mV/kPa

nonlinearity is prior to 0. 2 % FS.

关键词

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