基于相位自校正的MEMS陀螺仪温度补偿方法

林跃杉; 尹韬; 吴焕铭; 杨海钢

doi:10.13873/j.1000-9787(2018)06-0015-03

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基于相位自校正的MEMS陀螺仪温度补偿方法

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 基于相位自校正的MEMS陀螺仪温度补偿方法
- MEMS gyroscope temperature compensation method based on phase self-correction
- 传感器与微系统 2018年第6期页码：15-17+21
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院电子学研究所
  2. 中国科学院大学
  3. 宁波大学信息科学与工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(61474120);浙江省自然科学基金资助项目(LQ16F010001)
- DOI：10.13873/j.1000-9787(2018)06-0015-03
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2018
- 稿件说明：
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林跃杉, 尹韬, 吴焕铭, 等. 基于相位自校正的MEMS陀螺仪温度补偿方法[J]. 传感器与微系统, 2018,(6):15-17+21.

LIN Yue-shan, YIN Tao, WU Huan-ming, et al. MEMS gyroscope temperature compensation method based on phase self-correction[J]. 2018, (6): 15-17+21.
林跃杉, 尹韬, 吴焕铭, 等. 基于相位自校正的MEMS陀螺仪温度补偿方法[J]. 传感器与微系统, 2018,(6):15-17+21. DOI： 10.13873/j.1000-9787(2018)06-0015-03.

LIN Yue-shan, YIN Tao, WU Huan-ming, et al. MEMS gyroscope temperature compensation method based on phase self-correction[J]. 2018, (6): 15-17+21. DOI： 10.13873/j.1000-9787(2018)06-0015-03.

摘要

针对开环检测模式

提出了一种基于相位自校正的微机电系统(MEMS)陀螺仪温度补偿方法。在对补偿方法进行了MATLAB行为级仿真后

利用单片机电路实现并联合MEMS陀螺仪进行了测试验证。结果表明:利用所提方法进行温度补偿后

偏置的温度灵敏度由1.93°/h/℃下降到了0.01°/h/℃。

Abstract

Aiming at open-loop detecting mode

a micro-electro-mechanical system（ MEMS） gyroscope temperature compensation method based on phase self-correction is proposed. After behavioral-level simulation is carried out by MATLAB

MCU circuit is used to implement and combines MCU with MEMS gyroscope for test. The test result demonstrates that after temperature compensation using the proposed method

the biased temperature sensitivity of the system decrease from 1. 93°/h/℃ to 0. 01°/h/℃.

关键词

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