基于光学杠杆法的微纳位移测量系统

张冲; 马树军; 李鲁鲁; 修强

doi:10.13873/j.1000-9787(2017)11-0103-03

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基于光学杠杆法的微纳位移测量系统

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 基于光学杠杆法的微纳位移测量系统
- Micro-nano displacement measurement system based on optical lever
- 传感器与微系统 2017年36卷第11期页码：103-105+108
- 作者机构：
  
  东北大学机械工程与自动化学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目（51505076）;辽宁省自然科学基金资助项目（2015020105）;中央高校基本科研业务费项目（N140304010,N150308001）;辽宁省高等学校创新团队项目（LT2014006）
- DOI：10.13873/j.1000-9787(2017)11-0103-03
  中图分类号： TH822
- 纸质出版：2017
- 稿件说明：
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[1]张冲,马树军,李鲁鲁,修强.基于光学杠杆法的微纳位移测量系统[J].传感器与微系统,2017,36(11):103-105+108.

ZHANG Chong, MA Shu-jun, LI Lu-lu, et al. Micro-nano displacement measurement system based on optical lever[J]. 2017, 36(11): 103-105+108.
[1]张冲,马树军,李鲁鲁,修强.基于光学杠杆法的微纳位移测量系统[J].传感器与微系统,2017,36(11):103-105+108. DOI： 10.13873/j.1000-9787(2017)11-0103-03.

ZHANG Chong, MA Shu-jun, LI Lu-lu, et al. Micro-nano displacement measurement system based on optical lever[J]. 2017, 36(11): 103-105+108. DOI： 10.13873/j.1000-9787(2017)11-0103-03.

摘要

采用自行设计搭建的光学杠杆光路系统

使用位置敏感度探测元件（PSD）对悬臂梁的微小挠度变化进行测量。介绍了实验原理及系统搭建。实验测量与分析表明:系统分辨力可达0.06μm。对自制的悬臂梁挠度变形进行测量

并与微动平台的实际位移量对比

结果基本一致

验证了系统的可靠性。

Abstract

Using self-designed optical lever light path system and position sensitive detector（ PSD） to measure small deflection of cantilever. Experimental principle and system building are introduced. Experimental measurement and data analysis are implemented. The resolution of measurement system can reach 0.06 μm. Using this system to measure small deflection of homemade cantilever. Through comparing with the actual displacement of micro-positioning platform

the results are basically identical. It verifies reliability of the system.

关键词

Keywords

references

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