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嵌套环式MEMS振动陀螺的静电修调算法
计算与测试 | 更新时间:2025-09-11
    • 嵌套环式MEMS振动陀螺的静电修调算法

    • Algorithm for electrostatic tuning of disk resonator MEMS vibration gyroscope

    • 传感器与微系统   2017年36卷第7期 页码:134-137+145
    • DOI:10.13873/j.1000-9787(2017)07-0134-04    

      中图分类号: TH-39
    • 纸质出版:2017

    移动端阅览

  • [1]于得川,何汉辉,周鑫,肖定邦,吴学忠.嵌套环式MEMS振动陀螺的静电修调算法[J].传感器与微系统,2017,36(07):134-137+145. DOI: 10.13873/j.1000-9787(2017)07-0134-04.

    YU De-chuan, HE Han-hui, ZHOU Xin, et al. Algorithm for electrostatic tuning of disk resonator MEMS vibration gyroscope[J]. 2017, 36(7): 134-137+145. DOI: 10.13873/j.1000-9787(2017)07-0134-04.

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