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基于PSD的静电悬浮位置测量与控制系统设计
设计与制造 | 更新时间:2025-09-11
    • 基于PSD的静电悬浮位置测量与控制系统设计

    • Design of measurement and control system of position of electrostatic levitation based on PSD

    • 传感器与微系统   2015年34卷第3期 页码:97-99+102
    • DOI:10.13873/j.1000-9787(2015)03-0097-03    

      中图分类号: TP273
    • 纸质出版:2015

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  • [1]代斌,孙志斌,王飞龙,翟光杰.基于PSD的静电悬浮位置测量与控制系统设计[J].传感器与微系统,2015,34(03):97-99+102. DOI: 10.13873/j.1000-9787(2015)03-0097-03.

    DAI Bin, SUN Zhi-bin, WANG Fei-long, et al. Design of measurement and control system of position of electrostatic levitation based on PSD[J]. 2015, 34(3): 97-99+102. DOI: 10.13873/j.1000-9787(2015)03-0097-03.

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